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半导体行业大气污染物排放标准.docxVIP

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  • 2026-07-16 发布于广西
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半导体行业大气污染物排放标准.docx

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    半导体行业大气污染物排放标准

    适用范围

    本文件规定了半导体行业大气污染物排放控制要求、监测要求和监督管理要求。

    本文件适用于半导体行业现有企业大气污染物排放管理，以及新建企业环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后大气污染物排放管理等。

    规范性引用文件

    本文件引用了下列文件或其中的条款。其中，注日期的引用文件，仅注日期对应的版本适用于本文件；未注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

    GB/T4754—2017国民经济行业分类

    GB14554恶臭污染物排放标准

    GB/T16157

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