传感与检测技术_项目四 压阻式压力传感器在数字.pptVIP

任务一压阻式压力传感器的识别、检测和选用１.压阻式压力传感器的结构及工作原理压阻式压力传感器又称扩散硅压力传感器,是压力式传感器的一种,利用单晶硅的压阻效应工作.如图４-９所示,压阻式压力传感器采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内.压阻式压力传感器的工作原理如图４-１０所示,当不受力作用时,电桥处于平衡状态,无电压输出;当受到压力作用时,单晶硅产生应变,使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化,电桥失去平衡而输出电压,且输出的电压与压力成比例.下一页返回任务一压阻式压力传感器的识别、检测和选用２.压阻式压力传感器的特点优点：(１)灵敏度非常高,比金属应变片式压力传感器的灵敏度系数要大５０~１００倍,有时传感器的输出无须放大,可直接用于测量.(２)压力分辨率高,它可以检测出１０~２０Pa的微压.(３)采用集成电路工艺加工,测量元件的有效面积可做得很小,故频率响应高、整体尺寸小、质量轻.(４)工作可靠,综合精度高,且使用寿命长.(５)便于实现数字化.缺点：传感器对温度比较敏感,其温度误差较大,且制造工艺较复杂.上一页下一页返回任务一压阻式压力传感器的识别、检测和选用３.MPX２１００DP传感器技术指标MPX２１００DP是一种压阻式压