CN119630104A 硅片氧化装置及硅片氧化方法 (安徽华晟新能源科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-17 发布于重庆
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CN119630104A 硅片氧化装置及硅片氧化方法 (安徽华晟新能源科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119630104A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411791622.0

(22)申请日2024.12.06

(71)申请人安徽华晟新能源科技股份有限公司

地址242000安徽省宣城市经济技术开发

区清流路99号

(72)发明人张景孙鹏叶飞萧吉宏

(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理

有限公司11250

专利代理师王晨

(51)Int.Cl.

H10F71/00(2025.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

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