等离子体技术系列物理实验.pptx

等离子体技术系列物理实验

;报告内容：;一等离子体概况;物质随温度升高的演化过程;等离子体的产生方法;;(a)直流放电;;(c)微波放电;Temperatureofcorona

IsafewmilliondegreeC;二等离子体技术的工业应用;同其它与之竞争的加工方法相比：

工业等离子体工程提供了更有利的工业加工方法，包括

－－更有效和更便宜达到工业相关结果的能力；

－－能完成其它方法不能完成的任务；

－－能在不产生大量不需要的副产品的情况下达到相同目的；

－－能在产生很少污染和有毒废物的情况下实现相同目的。;2等离子体技术的工业应用领域;功能薄膜材料、纳米材料的制备;微电子领域的加工;精密机械加工;环境、卫生领域;三等离子体技术应用

实验教学平台的构建;电极;技术背景：

直流放电因为结构简单、成本低而受到广泛应用。

影响因素：电极材料、电极距离、气体种类、放电气压等。

影响结果：电子温度、浓度。

通常的直流辉光放电是在封闭了特定气体的放电管上进行的。

缺点：电极的形状大小、电极材料、电极距离、放电气压、气体种类等影响等离子体参数的因素一般不能调节。;实验内容:（1）研究放电参数（电压、电流、气压等）与等离子