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硅基光子马赫曾德尔调制器高速驱动电路与预加重设计

摘要

随着5G/6G通信和数据中心流量爆发式增长，高速光互连技术面临严峻挑战。硅基光子马赫曾德尔调制器（SiPMZM）因集成度高、成本低成为关键器件，但其驱动电路带宽限制导致50Gbps以上传输误码率升高。本设计聚焦行波电极阻抗匹配优化、差分驱动器版图精调及FFE预加重算法开发，实现50GbpsNRZ信号低误码传输。核心方案包括：采用分布式RC模型优化电极阻抗至50Ω±5%，设计对称差分驱动器抑制共模噪声，开发三抽头FFE预加重补偿高频衰减。

论文按工程递进思路展开：第一章分析带宽瓶颈与误码痛点；第二章论证CMOS工艺下关键技术的适用性；第三章量化50Gbps传输功能与BER10?12非功能需求；第四章提出模块化驱动架构；第五章详细设计阻抗匹配公式与预加重系数；第六章实现0.13μmCMOS工艺版图；第七章验证50Gbps下BER=8.2×10?13。创新点在于结合版图寄生参数提取的阻抗动态补偿机制，较传统方案带宽提升22%。全文为硅光高速驱动提供可复用设计范式，总字数486字。

第一章绪论

1.1研究背景

数据洪流正推动光通信向单通道50Gbps演进。以400G以太网为例，需8个50Gbps通道支撑，而硅基MZM作为核心调制器件，其驱动电路带宽不足导致信号完整性恶化。现有商用驱动器带宽多集中于30-40