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高精度六自由度并联机器人在微装配中的动态刚度优化

摘要

微装配技术是精密制造领域的核心环节，其操作精度直接决定了微型器件与系统的最终性能。随着微机电系统（MEMS）和精密光学器件向更小尺度、更高集成度发展，装配作业对定位精度与操作稳定性的要求已进入亚微米级。传统串联机器人受制于累积误差与低刚度特性，难以满足这一严苛需求。六自由度并联机器人以其高刚度、高承载能力和无累积误差的优势，成为微装配领域的理想执行机构。然而，在高速、高加速的动态作业过程中，并联机器人的结构柔度引发的振动问题严重制约了其动态定位精度。

本课题聚焦于高精度六自由度并联机器人在微装配应用中的动态刚度优化问题。核心方案是通过结构拓扑优化方法，在保证机器人轻量化的前提下，重新设计其关键承载构件的材料分布，以最大化结构的一阶固有频率，从而提升整体动态刚度。研究遵循“需求分析—总体设计—详细设计—仿真实现—性能测试”的工程递进思路。

论文首先分析了微装配作业对机器人动态性能的具体需求，明确了以最大化一阶固有频率为优化目标。随后，建立了并联机器人的运动学与动力学模型，并基于有限元方法构建了初始结构的动态特性分析模型。在详细设计阶段，应用变密度拓扑优化算法，对动静平台及支链等关键部件进行了材料布局重构。通过仿真验证，对比了优化前后机器人在典型微装配轨迹下的动态响应。结果表明，优化后的结构在质量基本不变的前提下