CN120021423A 尺寸测量装置、尺寸测量方法以及尺寸测量系统 （株式会社日立高新技术）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120021423A

(43)申请公布日2025.05.20

(21)申请号202380047037.7

(22)申请日2023.09.20

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.13

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0340442023.09.20

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2025/062517JA2025.03.27

(71)申请人株式会社日立高新技术地址日本

(72)发明人奥山裕大森健史

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021

专利代理师吴秋明

(51)Int.Cl.

G01B15/04(2006.01)

权利要求书2页说明书13页附图13页

(54)发明名称

尺寸测量装置、尺寸测量方法以及尺寸测量

系统

(57)摘要

CN120021423A本公开的目的在于，不进行系统修正地实现任意的部位的尺寸测量。本公开的尺寸测量装置之一根据具有重复图案的半导体器件的截面图像来测量半导体器件的尺寸，所述尺寸测量装置的特征在于，具备处理器和存储器，存储器保存尺寸测量程序，该尺寸测量程序使所述处理器作为以下要素发挥功能：学习部，安装有语义分割模型；推论部，根据学习部针对输入图像而输出的分割图像，使