原创力文档【doc】《真空设计手册》（第三版）2004年5月出版
《真空设计手册》(第三版)2004年5月出
版2004?第二期
(maintainpump=0),判断真空度2(vacuity2=1
时);关光栏阀(1itbarriervavle=l),开截止阀(cutvavle=l),判断真空度
3(vacuity3=1时);开氮气控制(nitrogenontro[=l)和氩气控制(ar.
goncontrol=l).开工件旋转(workpiecerun=l),开靶运行(buttrun=l),加靶
电流(buttcur—
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