CN119776798A 一种cvd反应腔体的清洁方法 (珠海格力电子元器件有限公司).pdfVIP

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  • 2026-07-18 发布于重庆
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CN119776798A 一种cvd反应腔体的清洁方法 (珠海格力电子元器件有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119776798A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411777626.3

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人珠海格力电子元器件有限公司

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