CN119224000A 图像采集装置、硅片检测设备和硅片检测方法 （浙江求是半导体设备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119224000A

(43)申请公布日2024.12.31

(21)申请号202411755840.9

(22)申请日2024.12.02

(71)申请人浙江求是半导体设备有限公司

地址311100浙江省杭州市临平区临平街

道顺达路500号1幢102室

申请人浙江晶盛机电股份有限公司

(72)发明人谢龙辉吴霏霏黄张楠张夫明

胥宗朋李贞周高莺旗

(74)专利代理机构杭州钤韬知识产权代理事务

所(普通合伙)33329

专利代理师许红平

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/01(2006.01)