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精密机械加工生产线洁净控制方案.docx

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    精密机械加工生产线洁净控制方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、术语与定义 5

    三、控制目标 12

    四、适用范围 14

    五、职责分工 15

    六、洁净分区规划 18

    七、环境参数要求 21

    八、空气洁净控制 28

    九、压差控制 30

    十、微粒控制 32

    十一、静电控制 35

    十二、振动控制 36

    十三、噪声控制 38

    十四、照度控制 40

    十五、人员洁净管理 42

    十六、物料洁净管理 44

    十七、设备洁净管理 47

    十八、工艺洁净管理 51

    十九、清洁消毒管理 52

    二十、监测点位

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