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- 2026-07-21 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119230421A
(43)申请公布日2024.12.31
(21)申请号202411745076.7
(22)申请日2024.12.02
(71)申请人中国电子科技集团公司第五十八研
究所
地址214000江苏省无锡市滨湖区惠河路5
号
(72)发明人耿雪其张鹏夏鹏程王成迁
(74)专利代理机构无锡派尔特知识产权代理事
务所(普通合伙)32340
专利代理师杨立秋
(51)Int.Cl.
H01L21/48(2006.01)
H01L21/683(2006.01)
H01L23/373(2006.01)
H01L23
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