ISO 231312021 椭偏测量原理标准立项发展报告.docx

椭偏测量原理标准立项发展报告

英文标题

StandardizationDevelopmentReport:Ellipsometry—Principles

摘要

随着纳米科技、半导体工业、生物医学及先进材料等领域的飞速发展，对薄膜厚度、光学常数及材料微结构等关键参数的精确测量需求日益增长。椭偏测量术作为一种非接触、高灵敏度的光学测量技术，已成为表征薄膜特性的核心技术之一。然而，长期以来，全球范围内缺乏统一、权威的椭偏测量术语、原理及基本流程标准，导致不同实验室、不同设备间的测量结果存在差异，无法实现有效比对和数据互认。在此背景下，国际标准化组织（ISO）于2021年发布了ISO231