ISO 232162021 碳基薄膜.用椭圆光谱法测定非晶碳薄膜的光学特性标准立项发展报告.docx

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碳基薄膜用椭圆光谱法测定非晶碳薄膜的光学特性标准立项发展报告

英文标题：StandardizationDevelopmentReport:Carbonbasedfilms—Determinationofopticalpropertiesofamorphouscarbonfilmsbyspectroscopicellipsometry

摘要

本报告旨在全面阐释国际标准ISO23216:2021《碳基薄膜用椭圆光谱法测定非晶碳薄膜的光学特性》的立项背景、技术内涵、制定过程及其产业价值。随着高端制造、光电子及新能源等领域的飞速发展，非晶碳薄膜因其优异的机