1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 电气技术

电子薄膜材料洁净生产规范.docx

电子薄膜材料洁净生产规范.docx

    电子薄膜材料洁净生产规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、适用范围 6

    三、术语与相关标准定义 8

    四、洁净生产基本原则 9

    五、生产人员准入与管理 11

    六、洁净区人员行为规范 13

    七、厂房设施设计要求 16

    八、厂房设施验收与运维 19

    九、空气净化系统运行管理 21

    十、洁净室环境监测验证 22

    十一、物料进入洁净区要求 24

    十二、生产设备洁净管理 26

    十三、生产过程洁净控制 27

    十四、关键工序洁净管控 29

    十五、工艺用水洁净管理 31

    十六、工艺气体洁净管理 33

    十七、静

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >