1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 办公文档
  5. 简明教程

E1010常规操作流程_图_.pdf

E1010常规操作流程_图_.pdf

    日立E-1010离子溅射仪常规操作流程

    样品放置

    1.将“MAINVALVE”主阀逆时针旋转90°至“OPEN”，喷金装置开始破真空。

    2.轻轻移开喷金装置，将样品根据需要放置在铝质载物台上，再将喷金装置放回，确保装置

    上的磁感应器与主机上的磁感应区重合。

    开机

    1.将变压器电源开关推至“ON”，确认输出电压在110V。

    2.将“VACCUMADJUST”针阀朝“HIGH”方向，即顺时针旋到底。

    3.将主机电源开关推至“ON”，此时机械泵启动，“READY”指示灯（绿色）亮，喷金

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >