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CN119535907A 一种调节装置、调节方法、检测系统和加工系统 （京城中安半导体(北京)有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-21 发布于重庆
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CN119535907A 一种调节装置、调节方法、检测系统和加工系统 （京城中安半导体(北京)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119535907A

    (43)申请公布日2025.02.28

    (21)申请号202411765634.6

    (22)申请日2024.12.03

    (71)申请人京城中安半导体（北京）有限公司

    地址100176北京市大兴区经济技术开发

    区永昌北路7号

    (72)发明人曾振军朱充马骞赵永亮

    (74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限

    公司11505

    专利代理师李丹

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    G02B7/00(2021.01)

    权利要求书3页说明书15页附图28页

    (54)

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