CN119569441A 一种zmo靶材及其制备方法 （先导薄膜材料（广东）有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119569441A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202411763519.5

(22)申请日2024.12.03

(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司

地址511517广东省清远市高新区百嘉工

业园27-9号A区

(72)发明人李开杰谭洪蕾林世洪盘君华

王奇峰

(74)专利代理机构清远市诺誉知识产权代理事

务所(普通合伙)44815

专利代理师龚元元

(51)Int.Cl.

C04B35/453(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

C04B35/622(2006.01)