CN119615099A 一种晶片镀膜设备及工艺 （武汉锐晶激光芯片技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119615099A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411763897.3

(22)申请日2024.12.03

(71)申请人武汉锐晶激光芯片技术有限公司

地址430000湖北省武汉市东湖新技术开

发区科技三路99号（自贸区武汉片区）

(72)发明人安海岩程谦熊凯辛文凡

(74)专利代理机构武汉红观专利代理事务所

(普通合伙)42247

专利代理师黄永亮

(51)Int.Cl.

C23C14/50(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

权利要求书2页说明书8