CN119941624A 一种图案缺陷检测方法、设备及存储介质 （浙江华睿科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119941624A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202411780149.6

(22)申请日2024.12.04

(71)申请人浙江华睿科技股份有限公司

地址310051浙江省杭州市滨江区长河街

道长河路590号1幢4层401室

(72)发明人许文林李晶俞超睿周璐

(74)专利代理机构深圳市威世博知识产权代理

事务所(普通合伙)44280

专利代理师严翠霞

(51)Int.Cl.

G06T7/00(2017.01)

G06T7/33(2017.01)

G06T7/70(2017.01)