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硅基MZM行波电极微波损耗建模与驱动器预加重协同设计

摘要

随着数据中心和高速光互连对带宽需求的急剧增长，硅基光电子集成技术成为实现低成本、高密度光收发模块的关键路径。硅基马赫-曾德尔调制器（MZM）因其工艺兼容性和高速潜力而被广泛研究，但其行波电极的微波损耗严重限制了调制带宽，难以直接满足50Gbps及以上非归零码（NRZ）信号的传输要求。

本课题针对硅基MZM行波电极的微波损耗问题，提出一种电极S参数建模与驱动器预加重协同设计方法。首先，基于传输线理论建立行波电极宽带S参数模型，准确表征趋肤效应、介质损耗和阻抗失配引起的频率滚降。其次，在驱动器端引入前馈均衡（FFE）与判决反馈均衡（DFE）混合架构，通过抽头系数优化补偿信道带宽限制。协同设计框架将电极物理参数与均衡器算法参数联合迭代，在保证50GbpsNRZ眼图张开度大于80%的前提下，将总功耗控制在2pJ/bit以下。

论文依次完成需求分析、总体架构设计、电极模型与均衡器详细设计、系统实现和测试验证。创新点在于：提出了基于实测S参数提取的等效电路模型参数拟合方法，以及面向功耗约束的混合均衡器抽头稀疏化设计。仿真结果表明，采用本文方案后，50GbpsNRZ信号的眼图张开度达到85.7%，均衡器功耗仅为1.78pJ/bit，验证了硅基MZM在下一代光互连中的应用潜力。

第一章绪论

1.1研究背