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等离子体发生器中的高频高压电源设计与放电特性实验

摘要

低温等离子体技术在材料表面改性、生物医学灭菌及环境污染物处理等领域具有广泛的应用前景，而高性能的高频高压电源是维持等离子体稳定放电的关键设备。针对现有等离子体电源体积大、效率低及稳定性不足的问题，本课题设计并实现了一款基于全桥LCC谐振拓扑的高频高压电源系统，并对其放电特性进行了实验研究。

论文首先分析了介质阻挡放电（DBD）对电源的负载特性需求，确定了采用全桥逆变结合LCC串并联谐振的总体技术方案，以实现软开关并降低开关损耗。其次，完成了主电路参数计算、高频高压变压器设计以及基于STM32的数字控制系统设计，设计了同轴圆柱型介质阻挡放电电极结构。在系统实现阶段，详细阐述了驱动电路、采样电路及保护电路的硬件实现细节，并编写了频率跟踪与功率调节程序。

最后，搭建了实验测试平台，在不同气氛环境（空气、氩气、氦气）下对电源输出特性及等离子体放电特性进行了测试。实验结果表明，该电源能够输出峰峰值0-12kV可调的高频高压，工作频率在20-50kHz范围内稳定可调，实现了辉光放电与丝状放电的稳定控制。测试数据显示，在氩气环境下等离子体射流长度可达45mm，温度维持在35℃左右，满足低温等离子体应用需求。本设计结构紧凑、稳定性高，为相关实验研究提供了可靠的硬件平台。

第一章绪论

1.1研究背景

随着现代工业技术的飞速