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半导体良率提升管理方案.docx

半导体良率提升管理方案.docx

    半导体良率提升管理方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目目标与范围 4

    二、良率管理原则 7

    三、组织职责分工 9

    四、关键工序识别 13

    五、失效模式分类 16

    六、质量指标体系 18

    七、数据采集规范 24

    八、测试覆盖要求 26

    九、封装过程控制 29

    十、制程参数管控 31

    十一、异常判定机制 32

    十二、批次追溯管理 35

    十三、设备状态监控 37

    十四、材料来料控制 40

    十五、环境洁净管理 42

    十六、抽样检验策略 46

    十七、良率分析方法 48

    十八、纠正预防措施 50

    十九、

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