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材料物理综合实验报告

实验题目：TiO2薄膜的制备和微细加工

文献综述：选择钛酸丁酯作为前驱物，用无水乙醇作为溶剂，乙酰丙酮作为螯合剂，利用溶胶-凝胶法法制备TiO2感光薄膜；利用薄膜的紫外感光特性，结合掩膜曝光技术紫外掩膜辐照光刻法制备TiO2微细图形；微细图形结构及形貌分析表征

一、实验过程

1.溶胶制备

向容器中依次加入样品，磁力搅拌2.5h至完全溶解，恒温箱室温陈化48h得到TiO2溶胶

钛酸丁酯

乙酰丙酮

无水乙醇

摩尔比

1

2

40

质量

1.0927g

0.6416g

5.4213g

2.提拉镀膜

a)用蘸有无水乙醇的纸巾将硅片擦拭清洗干净后，夹在提拉机的夹子上