高性能电子显微镜深度解析.pptVIP

电子显微镜electronmicroscope

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Contents

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电子显微镜的定义

电子显微镜(electronmicroscope，EM)普通是指利用电磁场偏折、聚焦电子及电子与物质作用所产生散射之原理来研究物质结构及微细结构的精密仪器。近年来，因为电子光学的理论及应用发展快速，此项定义已嫌狭窄，故重新定义其为一项利用电子与物质作用所产生之讯号来监定微区域晶体结构、微细组织、化学成分、化学键结和电子分布情况的电子光学装置。

用电子光学仪器研究物质组织、结构、成分的技术称为电子显微术。

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电子显微镜主要发展史

德国物理学家Knoll和Ruska研制成功第一台透射电子显微镜

德国西门子企业生产了第一台商品用的透射电子显微镜

英国剑桥科学仪器有限企业扫描电子显微镜作为商品问世

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制成功第一台透射电子显微镜

中国科学院北京科学仪器厂研制成功第一台扫描电子显微镜

瑞士科学家Binnig、Rohrer、Gerber和Weible创造扫描隧道显微镜

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电子显微镜

MaxKnoll(1897-1969)ErnstRuska(1906-1988)

1938年，德国工程师MaxKnoll和ErnstRuska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)。电子显微镜的辨别率能够达成纳米级(10-9nm)。能够