CN119197856A 基于平面半导体工艺的六维力传感器及其制备方法 （深圳安培龙科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119197856A

(43)申请公布日2024.12.27

(21)申请号202411722543.4

(22)申请日2024.11.28

(71)申请人深圳安培龙科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市坪山区坑梓街

道金沙社区聚园路1号安培龙智能传

感器产业园1A栋201、1A栋、1B栋、2栋

(72)发明人陈君杰楚国富李嘉欣黄宇

(74)专利代理机构深圳市宇宙八爪鱼知识产权

代理事务所(普通合伙)

441039

专利代理师郭璐瑶

(51)Int.Cl.

G01L5/1627(2020.01)

B81C1/00(2006.01)