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半导体能耗管理控制方案.docx

半导体能耗管理控制方案.docx

    半导体能耗管理控制方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、适用范围 10

    三、术语定义 12

    四、管理目标 13

    五、组织职责 15

    六、能耗边界 18

    七、能源分类 20

    八、计量体系 23

    九、监测要求 25

    十、数据采集 28

    十一、统计口径 29

    十二、能效评估 31

    十三、用能计划 32

    十四、设备管理 34

    十五、工艺优化 36

    十六、公辅系统 37

    十七、空压系统 41

    十八、洁净室管理 44

    十九、照明管理 46

    二十、空调管理 47

    二十一、动力系统 49

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