原创力文档需的工作气压较高这两者综合效果是气体分子对薄膜产生的污染的可能性提高磁控溅射使电子的路径不再是直线而是螺旋线增加了与气体原子发生碰撞的几率在同样的电压和气压下可以提高电离的效率提高了沉积速率该方法淀积速率可比其他溅射方法高出一个数量级薄膜质
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