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十五五智能传感器网络：攻克MEMS工艺，实现进口替代全覆盖
TOC\o1-3\h\z\u22615十五五智能传感器网络发展大纲 3
4018一、战略背景与总体目标 3
47141.1“十五五”时期产业发展环境分析 3
183241.2进口替代全覆盖的核心指标与愿景 5
2322二、MEMS工艺关键技术攻关路径 6
58472.1高精度微纳加工与异构集成技术突破 6
223352.2先进封装测试与良率提升策略 8
30607三、核心产品体系与国产替代清单 9
220053.1工业级与汽车级高端传感器国产化方案 9
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