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CN119885821A 高能离子注入机射频段四极透镜联合调控方法及装置 （北京烁科中科信电子装备有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-27 发布于重庆
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CN119885821A 高能离子注入机射频段四极透镜联合调控方法及装置 （北京烁科中科信电子装备有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119885821A

    (43)申请公布日2025.04.25

    (21)申请号202411728246.0G06F113/08(2020.01)

    G06F119/14(2020.01)

    (22)申请日2024.11.28

    G06F111/04(2020.01)

    (71)申请人北京烁科中科信电子装备有限公司

    地址101111北京市通州区光机电基地兴

    光二街6号

    (72)发明人贾永智朱婉莹张兆龙李进

    肖鸿超张腾龙王新宇

    (74)专利代理机

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