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微型压阻式压力传感器的灵敏度提升结题报告

一、研究背景与意义

在现代工业自动化、生物医学工程、航空航天等众多领域，微型压阻式压力传感器凭借其体积小、响应速度快、成本低等优势，成为压力测量的核心器件。然而，随着应用场景对检测精度要求的不断提高，传统微型压阻式压力传感器的灵敏度逐渐难以满足需求。例如在心血管疾病诊断中，需要精准检测血液流动产生的微小压力变化，这对传感器的灵敏度提出了极高要求；在航空航天领域，飞行器发动机内部的压力监测需要传感器能够捕捉到极细微的压力波动，以保障飞行安全。因此，提升微型压阻式压力传感器的灵敏度，对于推动相关领域的技术进步具有重要的现实意义。

本研究旨在通过优化传感器的结构设计、改进材料性能以及优化制备工艺等手段，显著提升微型压阻式压力传感器的灵敏度，为其在高精度测量领域的广泛应用提供技术支持。

二、研究内容与方法

（一）传感器结构优化设计

压敏电阻布局优化传统的微型压阻式压力传感器通常采用惠斯通电桥结构，压敏电阻分布在硅膜片的边缘。然而，这种布局方式并没有充分利用硅膜片的应力分布特性。本研究通过有限元分析软件，对硅膜片在压力作用下的应力分布进行了精确模拟。结果表明，硅膜片的中心区域和边缘区域的应力分布存在显著差异，中心区域的应力变化更为明显。基于这一发现，我们提出了一种新型的压敏电阻布局方案，将部分压敏电阻布置在硅膜片的中心区域，以充分利用该区域的高应力变