T_CPIA 0101-2024 硅异质结光伏电池透明导电氧化物（TCO）溅镀设备.docxVIP

ICS31.550CCSL95

团体标准

T/CPIA0101—2024

硅异质结光伏电池透明导电氧化物（TCO）

溅镀设备

Transparentconductiveoxide(TCO)sputteringequipmentfor

siliconheterojunctionphotovoltaiccells

2024-12-15发布2024-12-30实施

中国光伏行业协会发布

T/CPIA0101—2024

I

目次

前言 III

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4工作环境及工作条件 2

5要求 2

5.1设备外观及结构要求 2

5.2电磁兼容性 2

5.3主要性能指标 2

5.4安全性要求 3

6试验方法 3

6.1检验设备及仪器 3

6.2试验工作环境条件 4

6.3设备外观及结构检查 4

6.4电磁兼容性检查 4

6.5主要技术指标测试 4

6.6安全性试验 7

7检验规则 7

7.