CN119407972A 一种切割装置、晶棒切割方法及设备 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119407972A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202411736190.3

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710000陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司

(72)发明人房嘉琪陈光林

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师郭静

(51)Int.Cl.

B28D5/00(2006.01)

B28D7/00(2006.01)

B28D7/04(2006.01)

B28D