CN119465399A 单晶炉及单晶硅制备方法 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119465399A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411734387.3

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710000陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安欣芯材料科技有限公司

(72)发明人蔡媛媛程立徐森炀

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师张博

(51)Int.Cl.

C30B29/06(2006.01)

C30B15/20(2006.01)

C30B15/14(2006.01)