几何产品规范（GPS） 表面纹理面积 第603部分非接触（相移干涉测量）仪器的设计和特性标准立项发展报告.docx

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几何产品规范（GPS）表面纹理:面积第603部分:非接触（相移干涉测量）仪器的设计和特性标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part603:Designandcharacteristicsofnon-contact(phaseshiftinginterferometry)instruments

摘要

关键词：几何产品规范；表面纹理；面积测量；相移干涉测量；非接触测量；仪器特性；