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- 2026-07-30 发布于河南
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ICS77.040
CCSH17
团体标准
T/IAWBS027-2026
碳化硅单晶抛光片堆垛层错的测试方法
Testmethodforstackingfaultofpolishedmonocrystalline
siliconcarbidewafers
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T/IAMBS027—2026
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