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- 2026-07-30 发布于河南
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ICS77.040
CCSH17
团体标准
T/IAWBS027-2026
碳化硅单晶抛光片堆垛层错的测试方法
Testmethodforstackingfaultofpolishedmonocrystallinesiliconcarbidewafers
2026-07-07发布
2026-07-14实施
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布
T/IAMBS027—2026
1
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