2026年电子化学品创新大会:KrF光刻胶树脂制备优化.pdf

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江苏集萃光敏电子材料

KrF树脂的优化

聂俊

定义

是利用光化学反应经、显影、刻蚀、

去胶等工艺将需要的图形从掩模版转移到待加

工衬底上的材料。经

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