CN119901684A 一种明暗场检测装置及方法 （上海中科飞测半导体科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119901684A

(43)申请公布日2025.04.29

(21)申请号202510399985.8

(22)申请日2025.04.01

(71)申请人上海中科飞测半导体科技有限公司

地址201306上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区玉宇路1068号、飞渡

路1568号、天高路1111号6幢

(72)发明人张鹏斌刘健鹏梁文军王福旺

仇志远陈鲁

(74)专利代理机构长春中科长光知识产权代理

事务所(普通合伙)22218

专利代理师高一明

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/88(200