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标题：洁净室和相关受控环境清洁表面以达到颗粒和化学物质浓度规定的清洁水平标准立项发展报告
EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part13:Cleaningofsurfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleandchemicalconcentration
摘要
关键词
洁净室；受控环境；表面清洁度；颗粒浓度；化学污
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