洁净室和相关的受控环境 - 第15部分评估空气中化学品浓度对设备和材料的适用性标准立项发展报告.docx

洁净室和相关受控环境第15部分：评估空气中化学品浓度对设备和材料的适用性标准立项发展报告

英文标题

StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part15:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentandmaterialsbyairbornechemicalconcentration

摘要

随着半导体制造、生物制药、精密仪器等高新技术产业的飞速发展，洁净室及相关受控环境中的空气质量控制已从传统