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洁净车间净化系统设计报告.docx

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    洁净车间净化系统设计报告

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、工程概况 3

    二、设计目标 5

    三、洁净等级划分 6

    四、工艺流程分析 9

    五、厂房平面布局 13

    六、功能分区规划 16

    七、气流组织方案 19

    八、送回风系统设计 21

    九、空气过滤配置 24

    十、温湿度控制方案 25

    十一、压差控制方案 27

    十二、洁净度保障措施 28

    十三、噪声控制设计 31

    十四、振动控制设计 33

    十五、照明系统设计 36

    十六、电气系统配合 38

    十七、给排水系统协调 40

    十八、材料选型原则 42

    十九、围护结

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