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光伏多晶硅熔融石英坩埚工艺方案.docx

光伏多晶硅熔融石英坩埚工艺方案.docx

    光伏多晶硅熔融石英坩埚工艺方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目总体工艺要求 3

    二、熔融石英原料选型标准 4

    三、原料预处理工艺流程 6

    四、坩埚成型模具设计规范 8

    五、坩埚成型工艺参数控制 10

    六、坩埚烧结工艺操作方法 11

    七、坩埚机械加工精度要求 16

    八、坩埚表面清洗处理流程 17

    九、坩埚外观质量检验标准 21

    十、坩埚气密性检测方法 23

    十一、坩埚热震稳定性测试规范 26

    十二、坩埚化学纯度检测要求 28

    十三、坩埚内壁涂覆层制备工艺 30

    十四、涂覆后烘干固化操作规范 31

    十五、坩埚成品包

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