ISOTS 153382025 表面化学分析 - 辉光放电质谱 - 操作程序标准立项发展报告.docx

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表面化学分析辉光放电质谱法操作程序标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Surfacechemicalanalysis—Glowdischargemassspectrometry—Operatingprocedures

摘要

辉光放电质谱法（GD-MS）作为一种高灵敏度、宽动态范围的固体材料直接分析技术，在材料科学、冶金工业、半导体及核工业等领域具有不可替代的地位。然而，由于不同实验室在仪器参数设置、样品制备及数据处理流程上存在显著差异，导致分析结果缺乏可比性与互认性，严重制约了该技术的标准化与国际化应用。本标准