CN119980168A Pvd中的靶材冷却装置及冷却方法 (无锡尚积半导体科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-01 发布于重庆
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CN119980168A Pvd中的靶材冷却装置及冷却方法 (无锡尚积半导体科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119980168A

(43)申请公布日2025.05.13

(21)申请号202510409848.8

(22)申请日2025.04.02

(71)申请人无锡尚积半导体科技股份有限公司

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