GBT 46173-2025 电子气体 惰性稀有气体标准立项发展报告.docx

电子气体惰性稀有气体标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGases—InertNobleGases

摘要

关键词：电子气体；惰性稀有气体；标准立项；纯度等级；杂质控制；半导体材料；质量检验

Keywords:ElectronicGases;InertNobleGases;StandardDevelopment;PurityGrades;ImpurityControl;SemiconductorMaterials;QualityInspection

一、引言

1.1研究背景

惰性稀有气体包括氦（He）、氖（Ne）、氩（Ar）、氪（Kr）、氙（Xe）等元素，因其化学性质高度稳定、电离电位独特及光学特性优异，在电子工业中扮演着不可替代的角色。在半导体集成电路制造过程中，高纯氩气用作等离子体刻蚀和物理气相沉积的载气与工作气体；高纯氖气用于深紫外光刻（DUV）准分子激光器的混合工作气体；氪气和氙气则广泛应用于先进制程的光刻光源和特种薄膜沉积工艺。随着芯片制程不断向3nm及以下节点演进，以及新型显示和高效光伏产业规模持续扩大，市场对电子级惰性稀有气体的需求量年均增长率超过15%，对其纯度（通常要求99.999%及以上，即5N级以上）和微量杂质（金属杂质、H?O、O?、CO、CO