GBT 46191-2025 电子级五（二甲氨基）钽标准立项发展报告.docx

电子级五（二甲氨基）钽标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradePentakis(dimethylamino)tantalum

摘要

电子级五（二甲氨基）钽（化学式：Ta(N(CH?)?)?，简称PDMAT）是高纯度钽化合物之一，作为先进半导体制造工艺中关键的金属有机前驱体材料，广泛应用于原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）技术中氮化钽（TaN）及氧化钽（Ta?O?）薄膜的制备。随着集成电路制程不断向3nm及以下节点推进，高端逻辑芯片和3DNAND存储器对前驱体材料的纯度、金属杂质含量及批次一致性提出了极为苛刻的要求，而我国在该领域长期缺乏统一的电子级产品国家标准。本标准（GB/T46191-2025）《电子级五（二甲氨基）钽》由国家标准管理机构于2025年10月5日正式发布，并将于2026年5月1日实施，归口分类为电子技术专用材料。本报告系统阐述了该标准的立项背景、编制原则、核心技术指标（包括纯度和关键金属杂质含量限值）、试验方法、检验规则及标志包装要求，分析了标准实施对提升国产电子化学品质量水平、保障供应链安全、促进半导体材料产业高端化发展的重要意义，并对标准未来在先进制程适配性扩展、分析方法更新及国际对标等方面的发展方向进行了展望。

关键词：电子级五（二甲氨基）钽；前驱体材料；原子