GBT 28124-2025 气体分析　惰性气体中微量氢、氧、甲烷、一氧化碳含量的测定　氧化锆气相色谱法标准立项发展报告.docxVIP

气体分析惰性气体中微量氢、氧、甲烷、一氧化碳含量的测定氧化锆气相色谱法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:GasAnalysis—DeterminationofTraceHydrogen,Oxygen,MethaneandCarbonMonoxideinInertGas—ZirconiaGasChromatographicMethod

摘要

关键词：惰性气体；氧化锆气相色谱法；微量杂质测定；国家标准；气体分析；质量检验

Keywords:InertGas;ZirconiaGasChromatography;TraceImpurityDetermination;NationalStandard;GasAnalysis;QualityInspection

1引言

1.1立项背景

随着我国半导体、光伏、航天航空、核能等战略性产业的快速发展，高纯和超高纯惰性气体的需求量持续攀升。例如，高纯氩气作为单晶硅拉制和多晶硅铸锭的保护气，其纯度要求通常达到99.999%以上（即5N级），其中氢、氧、甲烷、一氧化碳等微量杂质的含量需控制在ppm乃至ppb级别。这些杂质的存在轻则影响产品质量，重则引发安全事故，因此对惰性气体中痕量杂质的准确测定成为气体生产企业和下游用户共同关