GBT 5828-2025 纯氙、高纯氙和超纯氙标准立项发展报告.docxVIP

纯氙、高纯氙和超纯氙标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:PureXenon,HighPurityXenonandUltraHighPurityXenon

摘要

关键词：纯氙；高纯氙；超纯氙；特种气体；国家标准；标准化；质量控制

Keywords:PureXenon;HighPurityXenon;UltraHighPurityXenon;SpecialtyGases;NationalStandard;Standardization;QualityControl

1引言

1.1研究背景

氙气（Xenon,Xe）是稀有气体家族中的重要成员，在大气中的含量约为0.086ppm（体积分数），因其具有较高的原子序数、稳定的化学惰性、优异的光电特性以及特殊的生理活性，在众多高科技领域具有不可替代的应用价值。近年来，随着国内半导体集成电路产业的高速发展、航天卫星推进技术的迭代升级、医疗影像设备（CT、PET）的普及推广以及大科学装置（如暗物质探测实验、低温物理研究）的建设运行，市场对高纯及超纯氙气体的需求量持续攀升，同时对产品的纯度指标和杂质含量提出了更为严苛的要求。

氙气的制备主要来源于空气分离装置的副产品，需经过多级精馏、化学转化及吸附纯化等复杂工艺方可获得高纯乃至超纯产品。由