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洁净车间设备安装规范.docx

洁净车间设备安装规范.docx

    洁净车间设备安装规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、基本要求 5

    三、安装前准备 7

    四、设备到货验收 9

    五、现场条件核查 12

    六、设备搬运与存放 17

    七、基础与支撑要求 20

    八、吊装与就位 23

    九、主体设备安装 25

    十、管线接口安装 29

    十一、电气安装要求 32

    十二、自控系统安装 34

    十三、风管系统安装 35

    十四、给排水安装 37

    十五、隔振与减振措施 48

    十六、密封与防泄漏 50

    十七、洁净度控制措施 52

    十八、安装精度要求 54

    十九、调平与找正 55

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